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低息配资公司 中科飞测获得发明专利授权:“半导体检测方法、半导体检测系统及可读存储介质”
本站消息,根据企查查数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体检测方法、半导体检测系统及可读存储介质”,专利申请号为CN202011522844.4低息配资公司,授权日为2024年7月2日。
专利摘要:本申请公开了一种半导体检测方法、半导体检测系统、及非易失性计算机可读存储介质。半导体检测系统包括检测仪与承载件,检测方法包括:校准放置在承载件上的工件的初始位置;对工件的中心位置进行聚焦以获取参考高度;对工件的至少一个待测位置进行聚焦,以获取聚焦信息;根据聚焦信息与参考高度获取补偿信息;及根据补偿信息调整承载件的高度,以使检测仪在待测位置合焦。本申请实施方式的半导体工件的检测方法及半导体检测系统能够对工件进行聚焦获取参考高度及聚焦信息,以通过根据参考高度及聚焦信息获取的补偿信息调整承载件的高度,使检测仪在待测位置合焦,从而消除因承载件的平面度问题导致的系统误差,提高检测精度。
大市日均成交1,362多亿港元,继续保持活跃,其中上周五成交金额大增至1,710多亿港元,是2023年7月31日以来最多,增量资金流入明显。港股通全周净流入113.5亿港元,继续支撑港股表现。
今年以来中科飞测新获得专利授权74个,较去年同期增加了19.35%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了2.28亿元,同比增10.93%。
数据来源:企查查
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